Các công nghệ cảm biến áp suất thông dụng

Máy đo áp suất

Sử dụng hiệu ứng piezoresistive của các máy đo áp suất được tạo ra hoặc được tạo ra để phát hiện lực, điện trở tăng lên khiáp suất biến dạng vật liệu. Các loại công nghệ thông thường là Silicon (Monocrystalline), Màng mỏng Polysilicon, Màng mỏng và Màng mỏng Nhiệt. Nói chung, các máy đo áp suất được kết nối để tạo thành một mạch cầu Wheatstone để tối đa hoá đầu ra của cảm biến và để giảm độ nhạy của lỗi. Đây là công nghệ cảm biến được sử dụng phổ biến nhất để đo áp suất chung.

Capacitive

Sử dụng một màng ngăn và khoang áp lực để tạo ra một tụ điện biến phát hiện sự lưc do áp suất áp dụng, điện dung giảm khi áp suất làm biến dạng màng. Công nghệ thông thường sử dụng kim loại, gốm và silic màng.

Điện từ

Đo lường sự dịch chuyển của màng bằng các thay đổi về độ tự cảm (không mong muốn), LVDT , hiệu ứng Hall , hoặc theo nguyên lý dòng xoáy .

Piezoelectric

Sử dụng hiệu ứng áp điện trong một số vật liệu nhất định như thạch anh để đo lực trên cơ chế cảm ứng do áp suất. Công nghệ này thường được sử dụng để đo áp suất động cao.

Quang học

Các kỹ thuật bao gồm việc sử dụng sự thay đổi vật chất của sợi quang học để phát hiện sự lực do áp suất áp dụng. Một ví dụ phổ biến của loại này sử dụng Fiber Bragg Gratings . Công nghệ này được ứng dụng trong những quy trình đầy thách thức, trong đó việc đo lường có thể rất xa, dưới nhiệt độ cao, hoặc có thể sử dụng các công nghệ vốn có thể không bị nhiễu điện từ. Một kỹ thuật tương tự sử dụng một bộ phim đàn hồi được xây dựng trong các lớp có thể thay đổi bước sóng phản xạ theo áp suất áp dụng.

Potentiometric

Sử dụng chuyển động của một gạt nước dọc theo một cơ chế điện trở để phát hiện các loại gây ra bởi áp lực áp dụng.

Các loại khác công nghệ cảm biến áp suất khác
Các loại cảm biến áp suất điện tử này sử dụng các tính chất khác (như mật độ) để suy ra áp suất của khí, hoặc chất lỏng.

Cộng hưởng

Sử dụng sự thay đổi tần số cộng hưởng trong cơ chế cảm ứng để đo áp lực, hoặc thay đổi mật độ khí, gây ra bởi áp lực áp dụng. Công nghệ này có thể được sử dụng kết hợp với bộ thu giữ lực, chẳng hạn như các thiết bị trong danh mục ở trên. Ngoài ra, công nghệ cộng hưởng có thể được sử dụng bằng cách phơi bày các yếu tố cộng hưởng chính nó vào các phương tiện truyền thông, theo đó tần số cộng hưởng phụ thuộc vào mật độ của phương tiện truyền thông. Cảm biến đã được làm từ rung động, rung động xi lanh, thạch anh và silic MEMS. Nói chung, công nghệ này được xem là cung cấp độ đọc ổn định theo thời gian.

Nhiệt

Sử dụng sự thay đổi độ dẫn nhiệt của khí do mật độ thay đổi để đo áp suất. Một ví dụ phổ biến của loại này là Pirani gauge .

I-on hóa

Đo dòng chảy của các hạt khí nạp (ion) bị thay đổi do thay đổi mật độ để đo áp suất. Các ví dụ phổ biến là các que thử cực tím nóng và lạnh.

Trang web: chauthienchi.net

Các công nghệ cảm biến áp suất thông dụng

CHỦ ĐỀ TƯƠNG TỰ

Cảm biến áp suất